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激光器專用的防腐抑制劑，為了保證循環冷卻水長時間工作的穩定性，要求水冷機和循環水路中所用的水箱、水泵、閥門等直接接觸循環水的元器件只可使用不銹鋼、銅合金或工程塑料等具有化學穩定性的材料，整個水路中不可使用鋁合金或化學鑄鐵等化學穩定性較差的材料。循環水路的軟管要使用不透光的材料，避免光照在水中產生的藻類微生物等。在水冷機出水口到激光器進水口之間必須安裝精度小于100微米的過濾器，避免水中的雜質沉積激光器水冷元件的內壁，否則一段時間后由于雜質沉積在元件的內壁將影響水冷元件的熱交換效率，從而影響激光器額定功率的穩定輸出。

為了保證整個循環冷卻水系統中水的品質，在初次安裝（或移機安裝）時首先要依次用自來水和純凈水對整個水路進行循環清洗（清洗時要拿掉過濾器的濾芯，清洗結束后再裝回），確認清洗效果后放盡循環水路中的殘留水，然后再加入導電率小于10us/cm的去離子水（或純凈水）激光器才可以開始工作。

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